自动中走丝,电容式压力传感器是基于变间隙式平行板电容器工作的。当可动极板受压力作用时,会发生一定的变形,因此上下电极之间的距离发生变化,从而它们之间的电容也发生了变化。
然而,压力与电容之间的关系是非线性的。为了消除非线性,设计者会根据小挠度薄板理论设计电容式传感器的可动极板,使之在一定的压力范围内非线性减小甚至呈线性变化。
自动中走丝,除此之外,也可以采用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。在小量程压力范围内,传感器的测量对象是绝对压力。初始电容C0和Δγ(γ为可动极板形变量与初始极板间距的比值)是影响电容式传感器灵敏度的关键因素。
自动中走丝,为了得到较大的电容输出和较高的灵敏度,极板作用面积应该尽量大,极板间的间距要尽量小,可动极板受力产生的形变也应该尽量大,同时采用介电常数大的材料做介电层。