高档中走丝，另外，在小压力范围内，内应力对可动极板工作性能的影响也特别大，内应力会阻碍可动极板形变，降低传感器灵敏度，增加非线性误差。而现阶段测量微小电容主要面临的困难是检测电路的复杂性和精度不高的问题。

高档中走丝，由于小量程传感器的输出电容太小，所以检测电路极其复杂；与被测的微小电容相比，杂散电容一般要高很多，并且杂散电容会随诸多因素而变化，结果往往是干扰信号远大于被测量的信号，很难得到准确的结果。

高档中走丝，因此，要实现小量程压力测量，不仅需要在小体积约束条件下改变电容式传感器的结构来提高电容输出，以削弱杂散电容的干扰和降低测试电路的复杂性，还需要优化测量电路，增加其分辨率和精度。国内外研究现状，在二十余年的时间里，国外小量程MEMS电容式压力传感器的研制已经取得一定成绩。