高端中走丝，如Vaisala公司的BAROCAP系列产品是单晶硅基电容式压力传感器，能够测量500～1 100 hPa（50～110 kPa）范围内的绝对大气压力,在工业应用测量范围甚至可以更小，低至50 hPa（5 kPa）。

高端中走丝，BAROCAP传感器的技术已经很成熟，产品拥有较低的迟滞性、优异的测量精度和长期工作稳定性，在各行各业都得到了广泛应用，而且还能与其他类型传感器集于一体，达到压力、湿度、温度的同时测量。

高端中走丝，自1989年开始，日本富士电机公司已经将硅电容式压力传感器商品化，其中的FCX-AIII系列绝对压力变送器最小的测量范围仅为0～16 kPa。与国外相比，我国的研究基本处于空白状态，只能依赖于进口产品。

高端中走丝，针对MEMS电容式压力传感器在小量程压力测量时存在的问题与挑战，各国都在寻找有效可行的解决办法，努力提升传感器的性能以期实现更灵敏、更准确的小量程压力测量。