线切割机型号规格，微系统在雷达方面得到了广泛应用，在提高雷达性能的同时大幅缩小其重量和体积。2014年10月，美国“陆军联合陆上巡航导弹组网防御传感器系统”（JLENS）系统通过关键里程碑测试，并于12月在美国马里兰州的阿伯丁地面试验场正式部署，标志着由MEMS开关组成的雷达天线已经进入应用阶段。

线切割机型号规格，JLENS上安装了X波段的MEMS电扫描相控阵，该天线阵面积仅0.4平方米，使用了2.5万只射频 MEMS开关，实现了±60°电扫描角度，空中探测距离超过20千米。

线切割机型号规格，利用微系统技术可以制造体积非常小且具有一定功能的产品，在医疗植入、生命体征检测等生物与健康领域取得了较大进展。DARPA与美国国立卫生研究院研发了基于MEMS的“片上人体系统”，该项目基于MEMS技术开发微流体芯片来模拟人体的实际生理反应，目的是加速新药物的研发速度和效率，并提供快速检测不明物质毒性的方法。