好的中走丝，在小量程MEMS电容式压力传感器信号读取方面，日本东北大学的Tomio Nagata等人最早实现了采用数字芯片来补偿传感器芯片的热灵敏度漂移。他们研制的传感器可以灵敏检测0～200 mmH2O(0～1.96 kPa)范围内的压力。

好的中走丝，然而，灵敏度的提高会造成传感器温度特性的下降。为了保持传感器在小量程压力测量时的准确度，他们研制了一种全新的调整和补偿技术。该技术首先利用转换器将电容值转变为相应的频率值，然后利用研发的IC芯片对零点温度系数和灵敏度温度系数进行补偿，将满量程（FFS）输出值进行调整，最后输出数字信号。

好的中走丝，这一调整和补偿技术对提高小量程压力测量时传感器温度特性的提高很有帮助。传感器芯片的热灵敏度漂移为0.026%F.S./℃，零点温度漂移为0.013%F.S./℃。当电容空腔采用湿法腐蚀二氧化硅层形成时，其侧壁形状为抛物线型(近似球形)。