大型中走丝，事实上，PDMS材料已经广泛应用于生物传感器和微流控领域，利用PDMS制作薄膜，PDMS与PDMS、PDMS与硅键合的相关加工工艺都已经成熟，为其应用于MEMS压力传感器奠定了坚实的基础。另一方面，如何提高精度和分辨率，降低杂散电容的影响依旧是测量电路的优化重点。

大型中走丝，目前，商业化的MEMS压力传感器不能满足气象检测、空间探索、生物医学等特殊背景下的压力测量需要, 因此对小量程压力传感器的研究成为必然。与其他类型的传感器相比，电容式压力传感器最适合小量程测量，但还需要进一步研究，改善其灵敏度和测量电路，使其得到广泛的应用。

大型中走丝，本文讨论的传感器代表了小量程MEMS电容式压力传感器的最新研究成果，分别针对传统的平行板电容器进行了工艺改良、结构创新与电路优化。这几种传感器各具特点但仍有不足，适合在不同领域中使用。

大型中走丝，通过调研发现，采用诸如PDMS的柔性材料作为电容式传感器的可动极板材料是达到小量程测量目的的一个有效途径。与国外相比，国内对于这方面的研究尚在起步阶段，因而迫切需要投入力量，大力开展这方面的研究工作。